微電子所“固態射頻電源系統”項目榮獲第七屆國際發明展銀獎

11月9日至12日，第七屆國際發明展覽會暨國際教學新儀器和新設備展覽會在昆山舉行，微電子所“固態射頻電源系統”和“45-22nm集成式光學臨界尺度（OCD）在線檢測設備”兩個項目獲得“銀獎”。

此次展會重點聚焦能夠體現產業特色、彰顯產品特點的優秀技術、節能減排產品、高端裝備制造、生物技術、新材料、新能源、新一代信息技術等戰略性新興產業和文化產業有關的產品。除國內各省市、自治區及有關行業協會、解放軍等單位參展外，境外也有40多個國家和地區派團參展，展位數超2400個，參展人數超10萬人次。

微電子所作為“首都科技條件平臺中科院研發試驗服務基地”的首批簽約成員單位，繼2011年第二十屆中國發明展上取得好成績后，今年又受邀參加此次展覽。微電子所設備技術研究室經過篩選，組織了“固態射頻電源系統”和“45-22nm集成式光學臨界尺度（OCD）在線檢測設備”兩個項目參展，這兩個項目均得到了國家科技重大專項的支持，不少觀眾駐足觀看項目介紹，咨詢相關技術細節。經組委會組織的專家評審，微電子所的兩個參展項目均獲得本次展覽的“銀獎”。（中國科學院微電子所）